После создания в реакторе вакуума порядка 0,1 мкПа начиналась подача паров У(СО)в. Во время процесса давление поддерживалось на уровне 0,5- 0,75 Па. После ввода паров У(СО) в реактор для

Создания режима электра люминесцентного свечения разряда на электроды подавалось напряженно 8 кВ. Практически мгновенно с этого момента на вольфрамовой нити-подложке начинался рост вольфрамовых усов.

Свечение возникает из-за столкновения электронов, выходящих из кончика подложки-катода, с молекулами гексакарбонила вольфрама У(СО)е. При столкновения происходит разряд, сопровождаемый свечением. Начало ценного разряда совпадает с образованием активных центров на подложке и началом интенсивного роста усов.

Окаяма предположил, что в условиях такого разряда молекулы У(СО)6 могут находиться не в газообразном, а в плазмообразном состоянии. Он утверждал, что рост карбонильных усов вольфрама происходит но по ПЖК - механизму, а непосредственно из газовой фазы, минуя жидкую, т. е. по ПК - механизму.

Возможпо, что в этом процессе происходит предварительное образование ионов металла и СО из молекул (СО)в. При попадании ионов металла на активный центр на подложке (это или конец катода или выступ на ее боковой поверхности) они сначала нейтрализуются, а затем встраиваются в решетку растущего вольфрамового уса. Тагам образом обеспечивается быстрый рост вольфрамовых усов из карбонильной газовой фазы.

Позже Окаямой было показано, что аналогично растут усы хрома и молибдена из паров карбонилов Сг(СО)в и Мо(СО)0. Температура подложки-катода при получении усов Мо была такой же, как и при получении усов У (1000-1100° С), а при получении усов Сг она значительно ниже - 500-700° С.